[发明专利]一种光学传感系统及传感测试方法在审
| 申请号： | 201910480074.2 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110261350A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 陈沁;文龙 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/552 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 刘巧霞 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学传感系统，包括：单色准直光源、光学传感器和光电探测器；所述光电探测器包括可旋转的半导体基底层和覆盖在半导体基片上的金属或类金属材料薄膜；光电探测器向光面制备成光栅；所述光学传感器与光电探测器共用光栅。本发明还公开了一种使用上述光学传感系统的传感测试方法，包括步骤：开启单色入射光源进行照射；转动半导体基底层，获得共振角θ1；导入待测物，转动半导体基底层，获得照射待测物的共振角θ2；基于共振角θ2相对于共振角θ1的变化即可得到待测物的折射率。本发明可实现高传感灵敏度、窄共振峰线宽和大工作波长范围的电信号输出，无需额外的光谱仪或者光电探测器即可测量气体或液体的折射率。 | ||
| 搜索关键词： | 光电探测器 共振角 半导体基底层 光学传感系统 待测物 光学传感器 折射率 传感 转动 照射 半导体基片 传感灵敏度 电信号输出 类金属材料 光谱仪 测试 光栅 单色入射 工作波长 共用光栅 可旋转的 准直光源 共振峰 向光面 薄膜 光源 制备 测量 金属 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种光学传感系统，其特征在于，包括：单色准直光源、光学传感器和光电探测器；所述光电探测器包括可旋转的半导体基底层和覆盖在半导体基片上的金属或类金属材料薄膜，光电探测器向光面制备成光栅；所述光学传感器与光电探测器共用光栅。
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