[发明专利]宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜、其制备方法及应用有效
| 申请号: | 201910476391.7 | 申请日: | 2019-06-03 |
| 公开(公告)号: | CN112030121B | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
| 发明(设计)人: | 蒲吉斌;钱建国;王立平;王海新;蔡召兵;毛春龙;陈善俊;毛金根 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;江苏金晟元特种阀门股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/06 |
| 代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王锋 |
| 地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: |
本发明公开了一种宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜、其制备方法及应用。所述复合薄膜包括依次形成在基体上的Mo过渡层以及MoN与C共掺层,所述共掺层由非晶碳相及多晶纳米晶相组成,所述多晶纳米晶相包括MoN、Mo |
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| 搜索关键词: | 宽温域减摩 耐磨 mocn 复合 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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