[发明专利]宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜、其制备方法及应用有效
| 申请号： | 201910476391.7 | 申请日： | 2019-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN112030121B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 蒲吉斌;钱建国;王立平;王海新;蔡召兵;毛春龙;陈善俊;毛金根 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;江苏金晟元特种阀门股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 宽温域减摩 耐磨 mocn 复合 薄膜 制备 方法 应用 | ||
1.一种宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其特征在于包括依次形成在基体上的Mo过渡层以及MoN与C共掺层，所述共掺层由非晶碳相及多晶纳米晶相组成，其中非晶碳相的含量为10.6 wt%~18.7 wt%，所述多晶纳米晶相包括24.6 wt%~26.2 wt%MoN、38.2 wt%~42.6 wt%Mo2N和18.5 wt%~20.6 wt%MoC，且所述多晶纳米晶相的晶粒大小为5.8~12.6 nm；以及，所述复合薄膜含有10.36 at.% ~23.4 at.% C原子。
2.如权利要求1所述的宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其特征在于：所述Mo过渡层的厚度为130~150 nm。
3.如权利要求1所述的宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其特征在于：MoCN层的厚度为2.98~3.04 um。
4.如权利要求1所述的宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其特征在于：所述复合薄膜在常温大气环境下的摩擦系数为0.23 ~0.26，在500 °C ~700 °C环境下的摩擦系数为0.38 ~0.44。
5.如权利要求1所述的宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其特征在于：所述复合薄膜的最大硬度值为28.9±4.24 GPa。
6.如权利要求1所述的宽温域减摩耐磨MoCN复合薄膜，其特征在于：所述复合薄膜含有10.36 at.% ~12.48 at.% C原子。
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