[发明专利]突起结构内侧设置空隙结构的谐振器及电子设备在审
| 申请号： | 201910470204.4 | 申请日： | 2019-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN111010140A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 张孟伦;庞慰;杨清瑞 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54;H03H9/205;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极，设置在基底上方；顶电极，与所述底电极对置，且具有电极连接部；和压电层，设置在底电极上方以及底电极与顶电极之间，其中：所述顶电极的边缘设置有突起结构以及位于突起结构内侧的形成空隙的空隙结构。本发明还涉及一种具有该体声波谐振器的滤波器，以及一种具有该滤波器的电子设备。基于上述方案，本发明可以在抑制谐振器的能量泄漏的同时减少谐振器中的杂波生成。 | ||
| 搜索关键词： | 突起 结构 内侧 设置 空隙 谐振器 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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