[发明专利]一种提高天线反射器表面FSS激光刻蚀加工精度的方法有效
| 申请号： | 201910464006.7 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110253151B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 王瑞;尚凯文;周晖;吴敢;杨建平;郑军;左华平 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 周蜜;仇蕾安 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高天线反射器表面FSS激光刻蚀加工精度的方法，属于天线反射器FSS加工技术领域。本发明所述方法首次提出了采用天线反射器实测型面数据修正激光刻蚀用设计型面数据，即将实测型面数据转化为与设计型面数据同一坐标系下进行对比分析，根据误差修正激光刻蚀用设计型面数据，从而提高后续天线表面FSS激光刻蚀加工精度，采用该方法制造的天线反射器表面FSS振子图形尺寸精度及相对位置精度均优于15μm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 天线 反射 表面 fss 激光 刻蚀 加工 精度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种提高天线反射器表面FSS激光刻蚀加工精度的方法，其特征在于：所述方法包括如下步骤：步骤1.采用三维曲面非接触测量设备对待加工的天线反射器型面进行实际测量；步骤2.通过坐标系转化软件将天线反射器的实测型面数据转化为与设计型面数据同一坐标系下，并将两组型面数据进行对比分析；步骤3.如果型面数据误差在激光刻蚀加工允许误差范围之内，采用设计型面数据进行天线反射器表面激光刻蚀加工；如果型面数据误差超出激光刻蚀加工允许误差范围，先根据实测型面数据对设计型面数据进行修正使待加工天线反射器表面处于激光加工焦深范围内，再采用修正后的设计型面数据进行天线发射器表面激光刻蚀加工。
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