[发明专利]芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法有效
| 申请号： | 201910463390.9 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110370100B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 赵军;王睿;黄金锋;吕经国 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04;B24B49/12;B24B41/04;B24B57/02 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 吴辉辉 |
| 地址： | 310014 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法，包括变幅杆、微型超声发生器和工具头，变幅杆上端连接微型超声发生器，变幅杆下端连接可更换的工具头；在工具头底部设有多层镀层或镀一层涂层，若涂层材料是金刚石，先采用金刚石砂轮对工具底部涂层进行磨削，将涂层表面磨成平面，再采用化学机械抛光的方法对涂层表面抛光，之后在工具头底部涂层厚度范围内加工微半球凹模阵列，凹模深度小于涂层厚度，半球凹模直径大于等于用于超声发射的球体直径。本发明大幅提升半球凹模阵列的加工效率，保证凹模圆周半径的一致性和不同凹模之间几何形状的一致性，对加工完成的凹模可采用柔性体化学试剂抛光，实现纳米级表面粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助 复合 超声 球体 制备 半球 阵列 方法 | ||
【主权项】：
1.芬顿辅助复合杆微超声球体制备半球凹模阵列方法，其特征在于，包括变幅杆、微型超声发生器和工具头，变幅杆上端连接微型超声发生器，变幅杆下端连接可更换的工具头；在工具头底部设有多层镀层或镀一层0.05mm‑3mm的超硬耐磨的涂层，若涂层材料是金刚石，先采用金刚石砂轮对工具底部涂层进行磨削，将涂层表面磨成平面，再采用化学机械抛光的方法对涂层表面抛光，降低涂层表面粗糙度，之后在工具头底部涂层厚度范围内加工微半球凹模阵列，阵列为m*n、m*1或n*n规格，其中，m、n均为自然数，凹模深度小于涂层厚度，半球凹模直径大于等于用于超声发射的球体直径；工具涂层、半球凹模、球体、导向板和工件间设有研抛液，研抛液中加入羟基自由基浓度约为0.1‑0.2mol/L的芬顿试剂。
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