[发明专利]一种激光光束分离装置及方法在审
| 申请号: | 201910461047.0 | 申请日: | 2019-05-30 |
| 公开(公告)号: | CN110346038A | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
| 发明(设计)人: | 葛一丰;姚瑶;李京;卢泽洋;孙照飞;胡述旭;曹洪涛;吕启涛;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04;G02B27/10 |
| 代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 袁文英 |
| 地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本发明适用于激光技术领域,提供了一种激光光束分离装置及方法,装置包括:第一反射镜、第二反射镜、一级分光平片和二级分光平片;第一反射镜,用于接收原始激光光束;第一反射镜和第二反射镜,用于将原始激光光束以预设入射角度,发射至一级分光平片中;一级分光平片,用于将原始激光光束分为反射光束和第一透射光束,并将反射光束以预设入射角度发射至二级分光平片中;二级分光平片,用于将反射光束分为激光检测光束和第二透射光束,并将激光检测光束发射至探测器中,进行质量检测。通过本发明能够实现足够小的分光比例,提高了分光精度,且避免了对激光光束的质量及其质量检测分析造成影响。 | ||
| 搜索关键词: | 反射镜 分光平片 分光 原始激光光束 反射光束 激光光束 分离装置 激光检测 透射光束 入射角 预设 激光技术领域 质量检测分析 光束发射 质量检测 发射 探测器 | ||
【主权项】:
1.一种激光光束分离装置,其特征在于,包括第一反射镜、第二反射镜、一级分光平片和二级分光平片;所述第一反射镜,用于接收原始激光光束;所述第一反射镜和所述第二反射镜,用于将所述原始激光光束以预设入射角度,发射至所述一级分光平片中;所述一级分光平片,用于将所述原始激光光束分为反射光束和第一透射光束,并将所述反射光束以所述预设入射角度发射至所述二级分光平片中;所述二级分光平片,用于将所述反射光束分为激光检测光束和第二透射光束,并将所述激光检测光束发射至探测器中,进行质量检测;其中,所述反射光束的能量小于所述第一透射光束的能量和所述原始激光光束的能量,所述激光检测光束的能量小于所述第二透射光束的能量和所述反射光束的能量。
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