[发明专利]一种激光光束分离装置及方法在审
| 申请号: | 201910461047.0 | 申请日: | 2019-05-30 |
| 公开(公告)号: | CN110346038A | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
| 发明(设计)人: | 葛一丰;姚瑶;李京;卢泽洋;孙照飞;胡述旭;曹洪涛;吕启涛;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04;G02B27/10 |
| 代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 袁文英 |
| 地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 反射镜 分光平片 分光 原始激光光束 反射光束 激光光束 分离装置 激光检测 透射光束 入射角 预设 激光技术领域 质量检测分析 光束发射 质量检测 发射 探测器 | ||
1.一种激光光束分离装置,其特征在于,包括第一反射镜、第二反射镜、一级分光平片和二级分光平片;
所述第一反射镜,用于接收原始激光光束;
所述第一反射镜和所述第二反射镜,用于将所述原始激光光束以预设入射角度,发射至所述一级分光平片中;
所述一级分光平片,用于将所述原始激光光束分为反射光束和第一透射光束,并将所述反射光束以所述预设入射角度发射至所述二级分光平片中;
所述二级分光平片,用于将所述反射光束分为激光检测光束和第二透射光束,并将所述激光检测光束发射至探测器中,进行质量检测;
其中,所述反射光束的能量小于所述第一透射光束的能量和所述原始激光光束的能量,所述激光检测光束的能量小于所述第二透射光束的能量和所述反射光束的能量。
2.如权利要求1所述的激光光束分离装置,其特征在于,所述第一反射镜和所述第二反射镜安装在二维调整镜座上;
所述二维调整镜座,用于调整所述第一反射镜和所述第二反射镜的位置,控制所述原始激光光束以预设入射角度,发射至所述一级分光平片中。
3.如权利要求2所述的激光光束分离装置,所述预设入射角度为15°~20°。
4.如权利要求1所述的激光光束分离装置,其特征在于,所述二级分光平片,还用于将所述第二透射光束发射至探测器中,进行质量检测;
其中,所述第二透射光束,作为所述原始激光光束的质量检测样本,所述第二透射光束与所述激光检测光束具有不同的衰减量级。
5.如权利要求1至4任一项所述的激光光束分离装置,其特征在于,还包括缩束镜;
所述缩束镜,用于接收所述激光检测光束,并调整所述激光检测光束的直径;
或,用于接收所述第二透射光束,并调整所述第二透射光束的直径。
6.一种激光光束分离方法,其特征在于,应用于如权利要求1至5任一项所述的激光光束分离装置,所述激光光束分离方法包括:
通过第一反射镜接收原始激光光束;
通过第二反射镜和所述第一反射镜,将所述原始激光光束以预设的入射角度,发射至一级分光平片中;
通过所述一级分光平片,将所述原始激光光束分为反射光束和第一透射光束,并将所述反射光束发射至二级分光平片中;
通过所述二级分光平片,将所述反射光束分为激光检测光束和第二透射光束,并将所述激光检测光束发射至探测器中,进行质量检测;
其中,所述反射光束的能量小于所述第一透射光束的能量和所述原始激光光束的能量,所述激光检测光束的能量小于所述第二透射光束的能量和所述反射光束的能量。
7.如权利要求6所述的激光光束分离方法,其特征在于,所述通过第二反射镜和所述第一反射镜,将所述原始激光光束以预设的入射角度,发射至一级分光平片中,包括:
将所述第一反射镜和所述第二反射镜安装在二维调整镜座上;
通过所述二维调整镜座,用于调整所述第一反射镜和所述第二反射镜的位置,控制所述原始激光光束以预设的入射角度,传播至所述一级分光平片中。
8.如权利要求6所述的激光光束分离方法,其特征在于,还包括:
通过所述二级分光平片,将所述第二透射光束发射至探测器中,进行质量检测;
其中,所述第二透射光束,作为所述原始激光光束的质量检测样本,所述第二透射光束与所述激光检测光束具有不同的衰减量级。
9.如权利要求6至8任一项所述的激光光束分离方法,其特征在于,还包括:
设置缩束镜;
通过所述缩束镜,接收所述激光检测光束,并调整所述激光检测光束的直径;
或,用于接收所述第二透射光束,并调整所述第二透射光束的直径。
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