[发明专利]一种纹理识别压力传感器阵列及其制作方法在审
| 申请号： | 201910448528.8 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110044523A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张旻;刘易鑫 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;A61B5/00;A61B5/021 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种纹理识别压力传感器阵列及其制作方法，该传感器阵列包括压力敏感层、分别设置在压力敏感层两侧的两个电极层和包裹压力敏感层与电极层的聚合物弹性体，压力敏感层包括激光诱导多孔石墨烯薄膜，聚合物弹性体填充于激光诱导多孔石墨烯薄膜的孔隙内，激光诱导多孔石墨烯薄膜形成图形化阵列结构，压力敏感层一侧的电极层包括对应于图形化阵列结构设置的横向电极阵列，压力敏感层另一侧的电极层包括对应于图形化阵列结构设置的纵向电极阵列，横向电极阵列和纵向电极阵列电极在图形化阵列结构所在的压力敏感区交错分布。由此实现微尺寸、高密度、可检测压力大小和分布的压力传感器阵列，具有阵列化压力触觉感知能力和纹理识别功能。 | ||
| 搜索关键词： | 压力敏感层 阵列结构 电极层 图形化 压力传感器阵列 多孔石墨 激光诱导 纹理识别 聚合物弹性体 横向电极 纵向电极 薄膜 传感器阵列 压力敏感区 薄膜形成 触觉感知 交错分布 阵列电极 可检测 阵列化 填充 制作 | ||
【主权项】：
1.一种纹理识别压力传感器阵列，其特征在于，包括压力敏感层、分别设置在所述压力敏感层两侧的两个电极层和包裹所述压力敏感层与所述电极层的聚合物弹性体，所述压力敏感层包括激光诱导多孔石墨烯薄膜，聚合物弹性体填充于所述激光诱导多孔石墨烯薄膜的孔隙内，所述激光诱导多孔石墨烯薄膜形成图形化阵列结构，所述压力敏感层一侧的电极层包括对应于所述图形化阵列结构设置的横向电极阵列，所述压力敏感层另一侧的电极层包括对应于所述图形化阵列结构设置的纵向电极阵列，所述横向电极阵列和所述纵向电极阵列电极在所述图形化阵列结构所在的压力敏感区交错分布。
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