[发明专利]一种电感式压力传感器及其制作方法与应用在审
| 申请号： | 201910448033.5 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110243502A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈新建;聂宝清;汤昕冉;缪一辉 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林;范青青 |
| 地址： | 215100 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电感式压力传感器及其制作方法与应用，所述电感式压力传感器包括平面电感、铁氧体膜、弹性支柱和柔性覆膜；所述铁氧体膜附着于柔性覆膜上，位于平面电感与柔性覆膜之间；所述弹性支柱支撑于平面电感与柔性覆膜之间，使铁氧体膜与平面电感之间存有气隙。本发明具有灵敏度高，响应时间快，稳定性和重复性好的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 平面电感 覆膜 电感式压力传感器 铁氧体膜 弹性支柱 灵敏度 附着 气隙 制作 应用 响应 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种电感式压力传感器，其特征在于，包括平面电感、铁氧体膜、弹性支柱和柔性覆膜；所述铁氧体膜附着于柔性覆膜上，位于平面电感与柔性覆膜之间；所述弹性支柱支撑于平面电感与柔性覆膜之间，使铁氧体膜与平面电感之间存有气隙。
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