[发明专利]高温高压下用叠氮化钡作原材料合成I-型硅基笼合物的方法在审

专利信息
申请号: 201910446144.2 申请日: 2019-05-27
公开(公告)号: CN110204340A 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 吴超;孙兵;王峥;庞振江;郭彦;王蒙;刘建军 申请(专利权)人: 北京智芯微电子科技有限公司
主分类号: C04B35/58 分类号: C04B35/58;C04B35/622;C04B35/626;C04B35/638;C04B35/645
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人: 吕翠莲
地址: 100000 北京市海淀区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供高温高压下用叠氮化钡作原材料合成I‑型硅基笼合物的方法,其特征在于:包括原料混合、压块合成、酸洗及烘干步骤;所述的压块合成:反应压力为1GPa‑3GPa,反应温度为700°C‑825°C。本发明不需要惰性气体保护,不需要要采用纯元素合成,反应条件易于达到,大大降低了反应难度,缩短反应时间。
搜索关键词: 原材料合成 高温高压 合成 叠氮化 硅基 合物 压块 惰性气体保护 反应条件 反应压力 原料混合 烘干 酸洗
【主权项】:
1.高温高压下用叠氮化钡作原材料合成I‑型硅基笼合物的方法,其特征在于:包括原料混合、压块合成、酸洗及烘干步骤;所述的压块合成:反应压力为1GPa‑3GPa,反应温度为700°C‑825°C。
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