[发明专利]一种微流量标准气体发生装置、系统及方法

摘要

本发明公开了一种微流量标准气体发生装置、系统和方法，所述装置包括上盖、主体、下壳体、过滤单元、气体发生单元和温度传感器；所述系统则包括上述微流量标准气体发生装置、气体输运装置及电路控制装置；所述方法采用上述微流量标准气体发生系统进行微流量标准气体的发生。本发明较好地解决了聚集气体的吸附问题，并保证了渗透管与外部环境的平衡状态，不仅体积小、集成度高，在接入检测气体使用时无需额外连接电磁阀、气体质量流量计等气路元器件，而且极大降低了设备成本及系统复杂度，使用方便、维护简单、产气速度及稳定性更好。

主权项

1.一种微流量标准气体发生装置，其特征在于，所述装置包括上盖、主体、下壳体、过滤单元、气体发生单元和温度传感器；主体具有外筒体、内管体以及位于外筒体与内管体之间的环状腔体，上盖套装在内管体上，上盖上设有若干个第一通气孔；内管体具有管腔，内管体的上端具有第一延长段且下端具有第二延长段，内管体位于环状腔体底部的位置处沿着圆周方向设置有若干个第二通气孔，第二通气孔与内管体的管腔相分隔；过滤单元填充设置在环状腔体内；下壳体具有上端的粗管体、下端的细管体以及贯穿粗管体和细管体的容纳腔；气体发生单元包括渗透管、导热体和加热体，渗透管置于下壳体的容纳腔中并且渗透管中部具有渗透窗和渗透腔，主体能够与下壳体对接安装并与渗透管的上端面形成端面密封结构，主体的内管体的第二延长段伸入渗透腔内且端部靠近渗透窗，所述第二通气孔连通主体的环状腔体与渗透管的渗透腔；加热体设置在下壳体上，导热体填充在渗透管与下壳体之间以及下壳体与加热体之间；温度传感器安装在下壳体的下端并且也位于下壳体的容纳腔中，温度传感器与渗透管的下端相对设置且不接触。