[发明专利]一种微流量标准气体发生装置、系统及方法

权利要求书

1.一种微流量标准气体发生装置，其特征在于，所述装置包括上盖、主体、下壳体、过滤单元、气体发生单元和温度传感器；

主体具有外筒体、内管体以及位于外筒体与内管体之间的环状腔体，上盖套装在内管体上，上盖上设有若干个第一通气孔；内管体具有管腔，内管体的上端具有第一延长段且下端具有第二延长段，内管体位于环状腔体底部的位置处沿着圆周方向设置有若干个第二通气孔，第二通气孔与内管体的管腔相分隔；过滤单元填充设置在环状腔体内；下壳体具有上端的粗管体、下端的细管体以及贯穿粗管体和细管体的容纳腔；

气体发生单元包括渗透管、导热体和加热体，渗透管置于下壳体的容纳腔中并且渗透管中部具有渗透窗和渗透腔，主体能够与下壳体对接安装并与渗透管的上端面形成端面密封结构，主体的内管体的第二延长段伸入渗透腔内且端部靠近渗透窗，所述第二通气孔连通主体的环状腔体与渗透管的渗透腔；加热体设置在下壳体上，导热体填充在渗透管与下壳体之间以及下壳体与加热体之间；

温度传感器安装在下壳体的下端并且也位于下壳体的容纳腔中，温度传感器与渗透管的下端相对设置且不接触；

所述过滤单元包括设置在环状腔体底层并与第二通气孔直接接触的过滤层以及设置在所述环状腔体内且位于所述过滤层上方的填充滤料。

2.根据权利要求1所述微流量标准气体发生装置，其特征在于，所述加热体位于下壳体的细管体的外层并与渗透管的气体储存管位置相对应，其中，所述加热体为内置电热丝的加热管且内径略大于下壳体的细管体外径，所述加热体套装在下壳体的细管体外层。

3.根据权利要求1所述微流量标准气体发生装置，其特征在于，所述气体发生单元还包括位于加热体外层的隔热体，所述隔热体由低导热系数的塑料材质制成，所述加热体与隔热体之间设置有隔热物质；所述导热体为导热硅脂、导热金漆或导热银浆。

4.根据权利要求1所述微流量标准气体发生装置，其特征在于，所述第一通气孔沿着圆周方向均匀分布在上盖上，所述第二通气孔沿着圆周方向均匀且对称分布在内管体上。

5.根据权利要求1所述微流量标准气体发生装置，其特征在于，所述下壳体由耐腐蚀金属材料制成，下壳体的细管体下端管口设有安装螺纹。

6.一种微流量标准气体发生系统，其特征在于，所述系统包括权利要求1至5中任一项所述的微流量标准气体发生装置、气体输运装置及电路控制装置；

所述气体输运装置与微流量标准气体发生装置中主体的内管体的第一延长段相连；

所述电路控制装置包括主控模块、气路控制模块、温度控制模块以及为所述主控模块、气路控制模块和温度控制模块供电的电源模块，所述温度控制模块与加热体电连接，气路控制模块与气体输运装置电连接，主控模块与温度传感器、气路控制模块和温度控制模块电连接。

7.根据权利要求6所述的微流量标准气体发生系统，其特征在于，所述气体输运装置为微流量抽气泵。

8.根据权利要求6所述的微流量标准气体发生系统，其特征在于，所述气体输运装置为滚珠式蠕动泵。

9.一种微流量标准气体发生方法，其特征在于，采用权利要求7所述的微流量标准气体发生系统进行微流量标准气体的发生。

10.根据权利要求9所述的微流量标准气体发生方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

步骤1、启动电路控制装置，控制主控模块根据用户设定参数完成对温度控制模块和气路控制模块的设置，通过温度控制模块控制加热体加热并根据温度传感器反馈的温度数据调整加热频率，进行对微流量标准气体发生装置的恒温监控；

步骤2、通过气路控制模块启动气体输运装置，将外部气体以设定气体流速通过第一通气孔抽入微流量标准气体发生装置中并将过滤后的外部气体作为载气携带渗透管产生的渗透气体进入内管体并进入后端气路。