[发明专利]OLED蒸镀掩模板在审
申请号: | 201910443596.5 | 申请日: | 2019-05-27 |
公开(公告)号: | CN110184565A | 公开(公告)日: | 2019-08-30 |
发明(设计)人: | 叶子云;卢泓;徐亚晨;张胜文;谢发飞;周希伟;孙冬 | 申请(专利权)人: | 江苏壹光科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 王秀娟 |
地址: | 213300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种OLED蒸镀掩模板,所述金属框相对的两边框内设有一对纵向凹槽及一对横向凹槽,所述凹槽内设有第一导轨,凹槽边缘设有主刻度线;所述金属薄片通过定位装置设于纵、横向凹槽内,且可沿第一导轨滑动;定位装置上设有副刻度线及固定装置,金属薄片通过主刻度线与副刻度线配合实现精密定位,且其松紧度通过固定装置可调。金属薄片在金属框中横向和纵向位置可调,可以组成任意矩形图案的蒸镀掩膜板,一种蒸镀掩膜板就可以完成多种规格的蒸镀工艺,实现产品的多元化生产。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀 金属薄片 定位装置 固定装置 横向凹槽 主刻度线 副刻度 金属框 掩模板 掩膜板 导轨 可调 凹槽边缘 精密定位 矩形图案 纵向凹槽 纵向位置 多元化 松紧度 滑动 两边 配合 生产 | ||
【主权项】:
1.一种OLED蒸镀掩模板,包括金属框和若干金属薄片,其特征在于,所述金属框相对的两边框内设有一对纵向的凹槽及一对横向的凹槽,凹槽内设有第一导轨,凹槽边缘设有主刻度线;所述金属薄片通过定位装置设于纵、横向的凹槽内,且可沿第一导轨滑动;定位装置上设有副刻度线及固定装置,金属薄片通过主刻度线与副刻度线配合实现精密定位,且其松紧度通过固定装置可调。
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