[发明专利]一种光学读出红外传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910418512.2 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN110044496A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 赵旸;张鹏;郭建;侯虎旺;陈烈 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 藏斌;赵青朵 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于传感器领域，尤其涉及一种光学读出红外传感器及其制备方法。本发明提供的光学读出红外传感器包括：硅基底；固定在硅基底上的微悬臂梁单元阵列；微悬臂梁单元阵列由若干个微悬臂梁单元组成，每个所述微悬臂梁单元均包括支撑腿、隔热梁、双材料变形梁和吸热反光板；所述双材料变形梁和吸热反光板均由复合到一起的碳纳米管膜层和金膜层组成。本发明利用碳纳米管在室温下的轴向热膨胀系数约为‑11×10‑6K‑1，以及碳纳米管对8～14μm波段的红外光有接近黑体的吸收率等特性，与金结合应用于双材料悬臂梁结构时，可以提高辐射热转换效率和热制变形量，从而提高探测灵敏度。而且碳纳米管的密度和比热较小，可以缩短响应时间。 | ||
| 搜索关键词： | 微悬臂梁 红外传感器 碳纳米管 读出 双材料变形梁 吸热 单元阵列 反光板 硅基 制备 红外光 吸收率 黑体 碳纳米管膜层 传感器领域 热膨胀系数 探测灵敏度 悬臂梁结构 比热 结合应用 转换效率 变形量 辐射热 隔热梁 金膜层 双材料 支撑腿 波段 轴向 复合 响应 | ||
【主权项】：
1.一种光学读出红外传感器，其特征在于，包括：硅基底；固定在所述硅基底上的微悬臂梁单元阵列；所述微悬臂梁单元阵列由若干个微悬臂梁单元组成，每个所述微悬臂梁单元均包括支撑腿、隔热梁、双材料变形梁和吸热反光板；其中，所述支撑腿的第一端固定在所述硅基底上，所述支撑腿的第二端与所述隔热梁的第一端相连接，所述隔热梁的第二端与所述双材料变形梁的第一端相连，所述双材料变形梁的第二端与所述吸热反光板连接在一起；所述双材料变形梁和吸热反光板均由复合到一起的碳纳米管膜层和金膜层组成；其中，朝向所述硅基底的一侧为碳纳米管膜层，背向所述硅基底的一侧为金膜层；所述碳纳米管膜层由定向且顺排的碳纳米管构成。
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