[发明专利]一种多晶硅铸锭炉热场结构在审

专利信息
申请号: 201910400635.3 申请日: 2019-05-15
公开(公告)号: CN112030227A 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 周继承;任雅青;冯天舒 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京东方盛凡知识产权代理事务所(普通合伙) 11562 代理人: 王颖
地址: 410083 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明涉及一种多晶硅铸锭炉热场结构,具有上炉体、下炉体,上炉体内设置有侧隔热笼和上保温板,下炉体内设置有底保温板、热交换块,装有硅原料的石英坩埚放置在石墨坩埚内,石墨坩埚置于热交换块上,石墨坩埚上方和侧方均设置有加热器,且加热器受同一电源控制。侧隔热笼靠近加热器侧装置耐高温发射率低的合金板,石墨坩埚外侧表面涂覆耐高温发射率高的涂层。加热时,侧隔热笼、底保温板、上保温板形成封闭空腔;硅晶体生长时,侧隔热笼缓慢上升,与底保温板分离。本发明在在多晶硅料熔化过程中能够缩短熔化时间,降低能耗,在多晶硅生长时能够避免坩埚侧形核长晶,减少晶体缺陷,提高电池的转换效率。
搜索关键词: 一种 多晶 铸锭 炉热场 结构
【主权项】:
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