[发明专利]一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置

摘要

本发明公开了一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置，包括：真空箱体和位于所述真空箱体内的被镀件固定架、被镀件移动机构、溅射阴极、阴极运动机构；本发明相比于传统的平面镀膜装置，是两个零件两个表面同时进行磁控溅射镀膜，根据溅射基板的尺寸，可以增加环路磁铁数量，即增加电离子环状封闭跑道数，进而扩大溅射面积，提高生产效率。而且与传统平面溅射阴极相比，同等情况下阴极结构的体积缩小了。磁铁座上下面布置磁铁是为了形成环状封闭跑道，因此主要是在正反面上进行溅射工作。

主权项

1.一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置，其特征在于，包括：真空箱体和位于所述真空箱体内的被镀件固定架、被镀件移动机构、溅射阴极、阴极运动机构；所述被镀件固定架包括底架和夹持架，其中所述夹持架设置有两个，分别垂直连接在所述底架两侧，并且两个所述夹持架之间留有所述溅射阴极移动空间；所述夹持架顶部和底部分别设置有多个夹持滑轨，位于所述夹持架顶部的所述夹持滑轨上滑动设置有上夹持件，位于所述夹持架底部的所述夹持滑轨上滑动设置有下夹持件；所述被镀件移动机构包括安装在所述真空箱体底部的固定架滚珠丝杠机构和固定架滑轨，以及设置在所述固定架滑轨上的固定架滑块；所述固定架滑轨平行设置有两个，所述固定架滚珠丝杠机构位于两个所述固定架滑轨之间；所述固定架滑块和所述固定架滚珠丝杠机构的螺母均与所述底架的底部固定连接；所述固定架滚珠丝杠机构的丝杆传动连接有第一电机；所述阴极运动机构包括安装在所述真空箱体内顶部的阴极滚珠丝杠机构和阴极移动滑轨，以及滑动设置所述阴极移动滑轨上的阴极移动滑板；所述阴极移动滑轨设置有两个，所述阴极滚珠丝杠机构安装在两个所述阴极移动滑轨之间；所述阴极移动滑板与所述阴极滚珠丝杠机构的螺母固定连接；所述阴极滚珠丝杠机构的丝杆传动连接有第二电机；所述溅射阴极包括阴极支架、主框架、靶材、电极、磁铁座以及设置在所述磁铁座上的磁铁；所述主框架为前、后、上、下面开口且设置空腔的长方体结构，所述磁铁座位于所述主框架的空腔内，在所述主框架前、后、上、下面开口上安装所述靶材，将所述主框架的空腔进行封闭；所述主框架左右两侧面的顶部与所述阴极支架连接，所述阴极支架与所述阴极移动滑板固定连接；所述主框架的一侧面底部设置有与所述主框架空腔连通的软质进水管，所述主框架的另一侧面顶部设置有与所述主框架空腔连通的软质出水管；所述电极与所述主框架的一侧面电性连接。