[发明专利]基于后向反射器剪切干涉的准直波前测量方法有效
| 申请号： | 201910384304.5 | 申请日： | 2019-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN110196105B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 单小琴;韩志刚;孟令强;陈姝君;周广丽;曹芳;王艳 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学紫金学院 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 南京锐恒专利代理事务所(普通合伙) 32506 | 代理人： | 刘佳伟 |
| 地址： | 210046 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于后向反射器剪切干涉的准直波前测量方法,该方法中待测准直波前分别经过楔形平板的前后两个表面反射，通过后向反射器返回后在CCD上形成剪切干涉条纹。采用四步相移法求解干涉条纹的相位分布，相位步进量定为 |
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| 搜索关键词： | 基于 反射 剪切 干涉 准直波前 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于后向反射器剪切干涉的准直波前测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：待测准直波前分别经过楔形平板的前后两个表面反射，通过后向反射器返回后在CCD上形成剪切干涉条纹；步骤2：采用四步相移法求解干涉条纹的相位分布，相位步进量定为![]()
估算形成剪切干涉条纹的两支光束的光程差WOPD(x)的常数分量![]()
以该常量为基础设定可调谐激光器的波长步进以实现移相量的标定；步骤3：采集四幅相位间隔为π/2的干涉图，得到剪切干涉条纹的光程差分布，根据剪切量的大小分别采用积分法或待定系数法测量准直波前。
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