[发明专利]空气隔离装置以及激光干涉检测设备有效
| 申请号： | 201910372079.3 | 申请日： | 2019-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN110030949B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 王全召;韩森;卢庆杰;王芳 | 申请（专利权）人： | 苏州慧利仪器有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉;刘国华 |
| 地址： | 215164 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种空气隔离装置以及包含该空气隔离装置的激光干涉检测设备。本发明的空气隔离装置包括：以套接的方式相连接并且能够相对移动的第一罩筒和第二罩筒；以及用于引导第一罩筒和第二罩筒相对移动的导向支撑部，其中，导向支撑部包含至少两条滑轨、与该至少两条滑轨分别对应的至少两个导向支撑臂、以及用于把至少两条滑轨分别安装在至少两个导向支撑臂上的至少两个滑动座，至少两条滑轨设置在第一罩筒的外表面并且均沿该第一罩筒的长度方向布置，至少两个导向支撑臂设置在第二罩筒的外表面并且均沿该第二罩筒的长度方向布置，导向支撑臂具有与滑轨相匹配的导向槽以及位于该导向槽一端的滑动座安装槽，滑动座安装在滑动座安装槽内。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 隔离 装置 以及 激光 干涉 检测 设备 | ||
【主权项】：
1.一种空气隔离装置，安装在激光干涉检测设备的参考平晶承载装置和待测平晶承载装置之间，用于隔离所述参考平晶承载装置和所述待测平晶承载装置之间的空气以阻挡该空气产生流动，其特征在于，包括：以套接的方式相连接并且能够相对移动的第一罩筒和第二罩筒；以及用于引导所述第一罩筒和所述第二罩筒相对移动的导向支撑部，其中，所述导向支撑部包含至少两条滑轨、与该至少两条滑轨分别对应的至少两个导向支撑臂、以及用于把所述至少两条滑轨分别安装在所述至少两个导向支撑臂上的至少两个滑动座，所述至少两条滑轨设置在所述第一罩筒的外表面并且均沿该第一罩筒的长度方向布置，所述至少两个导向支撑臂设置在所述第二罩筒的外表面并且均沿该第二罩筒的长度方向布置，所述导向支撑臂具有与所述滑轨相匹配的导向槽以及位于该导向槽一端的滑动座安装槽，所述滑动座安装在所述滑动座安装槽内。
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