[发明专利]点蒸发源及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201910364660.0 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111850478A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 赵树利 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种点蒸发源及蒸镀设备，点蒸发源包括用于容纳蒸发材料的坩埚本体和端盖，所述坩埚本体的顶端具有开口，所述端盖盖合在所述坩埚本体的开口处，所述端盖上设置有多个蒸发口部，所述多个蒸发口部排成一列，整列蒸发口部位于同一平面内。本发明通过在点蒸发源的坩埚本体端盖上增加蒸发口部的数量，可以充分利用蒸发口部整流的作用，使用多束蒸发束流共同沉积制备薄膜，能够减少现有点蒸发源因单一蒸发口造成的薄膜厚度不均匀性(双驼峰结构)现象，使得点蒸发源在镀膜基板表面沉积的膜层厚度更均匀，从而有效改善了镀膜厚度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
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