[发明专利]一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法在审
| 申请号： | 201910345715.3 | 申请日： | 2019-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN110133969A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 孙彬;凌坚 | 申请（专利权）人： | 厦门通富微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;F26B25/00;F26B23/00;F26B9/06 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 李庆波 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市中国（福建）*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备、烘烤系统及烘烤方法，所述烘烤设备包括：腔体，由相对设置的底板、顶板，以及位于所述底板和顶板之间的多个侧板围成，其中，一个所述侧板上设置有开口，所述顶板和非具有开口的所述侧板中的至少部分设置有至少一个第一发热元件；基台，设置于所述腔体内，所述基台内部设置有至少一个第二发热元件，所述基台的表面用于承载待烘烤元件；其中，所述待烘烤元件表面设置有光刻胶，所述第一发热元件和所述第二发热元件配合以烘烤所述光刻胶。通过上述方式，本申请能够在烘烤后使光刻胶的侧壁与待烘烤元件表面保持垂直。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 光刻胶 发热元件 烘烤设备 烘烤元件 侧板 基台 底板 烘烤系统 开口 表面设置 内部设置 相对设置 侧壁 腔体 申请 承载 垂直 体内 配合 | ||
【主权项】：
1.一种用于烘烤光刻胶的烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备包括：腔体，由相对设置的底板、顶板，以及位于所述底板和顶板之间的多个侧板围成，其中，一个所述侧板上设置有开口，所述顶板和非具有开口的所述侧板中的至少部分设置有至少一个第一发热元件；基台，设置于所述腔体内，所述基台内部设置有至少一个第二发热元件，所述基台的表面用于承载待烘烤元件；其中，所述待烘烤元件表面设置有光刻胶，所述第一发热元件和所述第二发热元件配合以烘烤所述光刻胶。
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