[发明专利]用于小角X射线散射测量的晶片对准在审
| 申请号： | 201910330447.8 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN110398505A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 尤里·文施泰因;亚历山大·克罗赫马尔;亚瑟·佩莱德;盖伊·谢弗;马修·沃明顿 | 申请（专利权）人： | 布鲁克杰维以色列公司 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/201;G01N23/207;H01J35/14 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 王红英;杨明钊 |
| 地址： | 以色列米格*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | 本申请涉及用于小角X射线散射测量的晶片对准。X射线装置包括支架、X射线源、检测器、光学测量仪器和电机。支架被配置为保持具有光滑的第一侧和与第一侧相对且图案在其上被形成的第二侧的平面样本。X射线源被配置成朝着样本的第一侧引导X射线的第一波束。检测器被定位于样本的第二侧上，以便接收透射穿过样本并从图案散射的X射线的至少一部分。光学测量仪器被配置成朝着样本的第一侧引导光辐射的第二波束，感测从样本的第一侧反射的光辐射，并响应于感测到的光辐射而输出指示样本的定位的信号。电机被配置成响应于信号而调整在检测器和样本之间的对准。 | ||
| 搜索关键词： | 样本 检测器 光辐射 波束 光学测量仪器 晶片对准 散射测量 配置 感测 小角 支架 电机 图案 平面样本 输出指示 响应 散射 透射 反射 光滑 对准 穿过 申请 | ||
【主权项】：
1.一种X射线装置，包括：支架，其被配置为保持具有第一侧和第二侧的平面样本，所述第一侧是光滑的，所述第二侧与所述第一侧相对并且图案在所述第二侧上被形成；X射线源，其被配置成朝着所述样本的所述第一侧引导X射线的第一波束；检测器，其被定位于所述样本的所述第二侧上，以便接收透射穿过所述样本并从所述图案散射的所述X射线的至少一部分；光学测量仪器，其被配置成朝着所述样本的所述第一侧引导光辐射的第二波束，感测从所述样本的所述第一侧反射的所述光辐射，并响应于所感测到的光辐射而输出指示所述样本的定位的信号；以及电机，其被配置成响应于所述信号而调整在所述检测器和所述样本之间的对准。
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