[发明专利]一种结合涡流与永磁扰动柔性阵列技术的传感器

摘要

本发明公开了一种结合涡流与永磁扰动柔性阵列技术的传感器，将阵列式涡流检测线圈蚀刻在聚酰亚胺薄膜上，以及将永磁扰动检测的磁敏元件阵列焊于柔性电路板上，依靠聚酰亚胺电路板的柔性特点，形成可弯曲的柔性阵列式传感器。柔性阵列式传感器包覆在橡胶骨架外表面，借助橡胶具有柔性可变形的特点，使得阵列式传感器可以与复杂曲面良好耦合，对铁磁性构件表面及次表面裂纹等缺陷进行无损检测。涡流接收线圈和永磁扰动检测元件均采用空间错排布局，提高阵列传感器的空间分辨率。沿扫查方向，涡流与永磁扰动阵列先后对同一缺陷进行检测，可以降低缺陷的漏检率和误报率。

主权项

1.一种结合涡流与永磁扰动柔性阵列技术的传感器，其特征在于：将涡流检测阵列与永磁扰动检测阵列，采用空间错排方式，印制或焊于聚酰亚胺柔性电路基板，并包覆在橡胶骨架外表面，使得涡流检测阵列与永磁扰动检测阵列所在的窄条区域能够与复杂曲面以线接触方式进行耦合，当传感器沿曲面扫查时，涡流检测阵列与永磁扰动检测阵列先后对同一缺陷进行检测，检测信号经过时序校正后可以得到缺陷扫查成像结果。