[发明专利]双边错位差动共焦镜组轴向间隙测量方法有效
| 申请号： | 201910319601.1 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN109883343B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 赵维谦;邱丽荣 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 11639 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开的双边错位差动共焦镜组轴向间隙测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦测量系统中，首先在CCD探测的艾里斑图像上设置大、小虚拟针孔探测区域，并将其探测的两条共焦特性曲线通过相减处理来锐化共焦特性曲线，其次将锐化共焦特性曲线进行双边错位差动相减处理得到轴向高灵敏的差动共焦特性曲线，然后利用该双边错位差动共焦特性曲线零点与共焦测量系统焦点精确对应的特性对被测镜组内外顶点位置进行高精度定焦寻位，最后通过光线追迹补偿计算精确得到被测镜组轴向间隙。与已有的镜组间隙测量方法相比，本发明具有测量精度高、抗环境干扰能力强、结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 特性曲线 错位差 共焦 光学精密测量 轴向间隙测量 共焦镜组 被测镜 锐化 相减 抗环境干扰能力 共焦测量系统 测量精度高 补偿计算 测量系统 差动共焦 顶点位置 光线追迹 间隙测量 探测区域 虚拟针孔 轴向间隙 定焦 镜组 寻位 轴向 灵敏 探测 图像 焦点 应用 | ||
【主权项】：
1.双边错位差动共焦镜组轴向间隙测量方法，其特征在于：包括以下步骤，/na)打开点光源(1)，调整被测镜组(6)使其与测量物镜(4)和准直透镜(3)共光轴，点光源(1)发出的光经分束镜(2)、准直透镜(3)和测量物镜(4)后汇聚成测量光束(5)聚焦在被测镜组(6)透镜上，被测镜组(6)反射的测量光束(5)再经测量物镜(4)和准直透镜(3)后被分束镜(2)反射进入到横向相减共焦探测系统(7)，形成的测量艾里斑(10)被CCD探测器(9)探测；/nc)沿光轴方向移动被测镜组(6)使测量光束(5)的焦点与被测镜组(6)的透镜前表面顶点A位置重合；在该镜组透镜前表面顶点A位置附近相对轴向扫描测量物镜(4)或被测镜组(6)，将横向相减共焦探测系统(7)中大虚拟针孔探测域(11)探测到的大虚拟针孔探测共焦特性曲线(13)I
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