[发明专利]一种用于量测孔状结构的自动光学检测系统以及方法有效
| 申请号： | 201910319373.8 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN111521613B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 邹嘉骏;林伯聪;黄冠勋;张勋豪 | 申请（专利权）人： | 由田新技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京维澳知识产权代理有限公司 11252 | 代理人： | 王立民;曾晨 |
| 地址： | 中国台湾新北市中*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于量测孔状结构的自动光学检测系统以及方法。该系统包含一光源装置、一影像捕获设备以及一图像处理装置。该光源装置提供至一待测物的一孔状结构，其中该孔状结构包括一壁特性区域与一面特性区域。该影像捕获设备朝向该孔状结构，以获得一孔状结构影像，其中该影像捕获设备具有一预设视角与一数值孔径。该图像处理装置根据该孔状结构影像的一影像特征差异与该预设视角，判断该孔状结构影像上的该壁特性区域与该面特性区域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 量测孔状 结构 自动 光学 检测 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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