[发明专利]一种用于量测孔状结构的自动光学检测系统以及方法

权利要求书

1.一种用于量测孔状结构的方法，其特征在于：包括:

提供一光源至一待测物的一孔状结构；

提供一影像捕获设备，朝向所述孔状结构，以获得一孔状结构影像，其中所述影像捕获设备具有一视角范围；

调整所述影像捕获设备预设的一数值孔径，使所述孔状结构的一壁特性区域与一面特性区域，于所述孔状结构影像上呈现一影像特征差异；以及

根据所述视角范围与所述影像特征差异，判断所述孔状结构影像上的所述壁特性区域与所述面特性区域，以产生一影像检测结果，所述影像检测结果包含判断所述孔状结构的所述面特性区域是否出现一新生截面区域并判断所述新生截面区域的高度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：其中所述影像特征差异包括亮度特征差异。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：其中提供所述光源至所述待测物的所述孔状结构的步骤包含提供一具准直特性光及/或一具漫射特性光至所述待测物的所述孔状结构。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：其中提供所述光源至所述待测物的所述孔状结构的步骤包含提供一第一光源与一第二光源至所述待测物的所述孔状结构；其中所述第一光源与所述第二光源具有不同的光谱特性。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于：其中所述影像特征差异包括亮度特征差异及色度特征差异。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：其中根据所述视角范围与所述影像特征差异，判断所述孔状结构影像上的所述壁特性区域与所述面特性区域的步骤包含：

根据所述影像特征差异，判断所述孔状结构影像上的所述壁特性区域的面积与位置，以及所述面特性区域的面积与位置。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于：其中根据所述视角范围与所述影像特征差异，判断所述孔状结构影像上的所述壁特性区域与所述面特性区域的步骤包含:

根据所述面特性区域的面积与位置以及所述壁特性区域的面积与位置，产生所述影像检测结果。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：其中所述影像检测结果包括孔口形状检测、孔底质量检测、孔壁质量检测或孔底与孔壁连接处质量检测。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于：其中所述面特性区域包含所述孔状结构的一孔底区域及/或所述新生截面区域。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：其中所述待测物包括印刷电路板。

11.一种用于量测孔状结构的自动光学检测系统，其特征在于：包含：

一光源装置，以提供一光源至一待测物的一孔状结构；

一影像捕获设备，朝向所述孔状结构，以获得一孔状结构影像，其中所述影像捕获设备具有一预设视角与一数值孔径，调整所述数值孔径，使所述孔状结构的一壁特性区域与一面特性区域，于所述孔状结构影像上呈现一影像特征差异；以及

一图像处理装置，根据所述孔状结构影像的所述影像特征差异与所述预设视角，判断所述孔状结构影像上的所述壁特性区域与所述面特性区域，以产生一影像检测结果，所述影像检测结果包含判断所述孔状结构的所述面特性区域是否出现一新生截面区域并判断所述新生截面区域的高度。

12.根据权利要求11所述的自动光学检测系统，其特征在于：其中所述影像特征差异包括亮度特征差异。

13.根据权利要求11所述的自动光学检测系统，其特征在于：其中所述光源装置包含一具准直特性光源及/或一具漫射特性光源。

14.根据权利要求13所述的自动光学检测系统，其特征在于：其中所述具准直特性光源或所述具漫射特性光源包含白色光源、蓝色光源和红色光源。