[发明专利]一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法。该装置包括点光源、准直透镜、平面反射镜、分光膜、待测直角棱镜、成像透镜、成像镜头和CCD相机。方法为：首先将待测直角棱镜放入测量光路中，得到由待测直角棱镜前端面自准直返回的光束与由待测直角棱镜内部反射并返回的光束形成的干涉图；然后引入偏移量，得到一系列移相干涉图，计算出波差面数据；接着对波差面数据进行平面拟合，得到拟合平面的系数参数和入射波面与出射波面的夹角；最后将待测直角棱镜展开为相应平行玻璃平板，由拟合平面的系数参数计算出待测直角棱镜角度偏差与棱差数据。本发明能够实现直角棱镜光学平行差的自动化测量，具有装置简单、精度高、稳定性好的优点。

主权项

1.一种直角棱镜光学平行差的测量装置，其特征在于，包括点光源(1)、准直透镜(2)、平面反射镜(3)、分光膜(4)、待测直角棱镜(5)、成像透镜(6)、成像镜头(7)和CCD相机(8)；所述点光源(1)发出的球面波经过准直透镜(2)准直为平行光，由平面反射镜(3)进行光路折转，平面反射镜(3)同时作为移相器使用；折转后的准直光束经过分光膜(4)后入射到待测直角棱镜(5)的端面，由待测直角棱镜(5)端面自准直返回的参考光与由待测直角棱镜(5)内部反射回来的测试光通过分光膜(4)后到达成像透镜(6)，经由成像镜头(7)在CCD相机(8)上得到干涉图。