[发明专利]温度控制方法有效
| 申请号： | 201910316601.6 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110389607B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 三森章祥;山口伸 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G05D23/20 | 分类号： | G05D23/20 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够将电容耦合型的等离子体处理装置的上部电极冷却并且使该上部电极的温度在短时间上升的温度控制方法。一实施方式的温度控制方法包括冷却上部电极的步骤和使上部电极的温度上升的步骤。在上部电极内形成有具有入口和出口的流路。上部电极构成蒸发器。在流路的出口和入口之间依次连接有压缩机、冷凝器和膨胀阀。在压缩机的输出端与入口之间以绕过冷凝器和膨胀阀的方式连接有分流阀。在冷却上部电极的步骤中，经由压缩机、冷凝器和膨胀阀将制冷剂供给到流路。在使上部电极的温度上升的步骤中，打开分流阀并且加热上部电极。 | ||
| 搜索关键词： | 温度 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电容耦合型等离子体处理装置的上部电极的温度控制方法，其特征在于，包括：冷却所述上部电极的步骤；和使所述上部电极的温度上升的步骤，在所述上部电极内形成有具有入口和出口的流路，该上部电极构成蒸发器，在所述流路的所述出口与所述入口之间依次连接有压缩机、冷凝器和膨胀阀，在所述压缩机的输出端和所述入口之间以绕过所述冷凝器和所述膨胀阀的方式连接有分流阀，在所述冷却所述上部电极的步骤中，经由所述压缩机、所述冷凝器和所述膨胀阀将制冷剂供给到所述流路，在所述使所述上部电极的温度上升的步骤中，打开所述分流阀并且加热所述上部电极。
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