[发明专利]一种OLED微型显示器用透明阴极的生产工艺在审
| 申请号： | 201910299656.0 | 申请日： | 2019-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN110021714A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 吴空物 | 申请（专利权）人： | 湖畔光电科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 南京中高专利代理有限公司 32333 | 代理人： | 吕波 |
| 地址： | 213200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及OLED微型显示器技术领域，特别是一种OLED微型显示器用透明阴极的生产工艺，包括以下步骤，第一步：利用异丙醇、无水乙醇以及超纯水超声清洗阳极为Al的基板；第二步：将基板放入真空腔室中，然后热蒸发逐一沉积白光OLED器件结构膜层；第三步：热蒸发制作缓冲层；第四步：多层无机膜进行薄膜封装；第五步：测试IVL特性。采用上述方法后，本发明的阴极由透光率很高的ITO或IZO等无机透明电极以及具有p‑n结性能的透明缓冲层构成，透明缓冲层透光率≥80%；能使OLED微型显示器的白光器件性能发光颜色纯，发光亮度以及发光性能不受影响，且较之现有阴极技术还有很大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 透明缓冲层 透明阴极 微型显示 热蒸发 透光率 生产工艺 阴极 白光OLED器件 基板放入真空 白光器件 薄膜封装 超声清洗 发光性能 发光颜色 结构膜层 透明电极 无水乙醇 阴极技术 超纯水 缓冲层 无机膜 异丙醇 多层 基板 腔室 沉积 发光 测试 制作 | ||
【主权项】：
1.一种OLED微型显示器用透明阴极的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤，第一步：利用异丙醇、无水乙醇以及超纯水超声清洗阳极为Al的基板；第二步：将基板放入真空腔室中，然后热蒸发逐一沉积白光OLED器件结构膜层；第三步：热蒸发制作缓冲层；第四步：多层无机膜进行薄膜封装；第五步：测试IVL特性。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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