[发明专利]一种压电式感应单元及其应用的水听器

摘要

本发明公开了一种压电式感应单元及其应用的水听器，涉及到微电子机械传感器领域。本发明感应单元结构包括了真空振动腔体、支撑层、压电种子层、压电主层和电极层等，实现在半导体层面上构造出能将水声压力或振动转化为电荷变化的感应单元，为了增加感应单元的灵敏度和可靠性，把多个感应单元并联或者串联在一起，可以构成一个水听器，可根据水听器的性能需求连接不同数量的感应单元，保证了不同需求的水听器生产的一致性和灵活性；每个感应单元实现了小型化、轻量化、低功耗、可大规模生产并且能有效提高灵敏度，在支撑层的物理强度和耐电压性能上满足要求的条件下，简化了加工工艺，实现了生产成本的降低。