[发明专利]一种可调飞秒激光无衍射光束曲面表面结构高效加工方法有效
| 申请号： | 201910292752.2 | 申请日： | 2019-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN109877445B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;李晓炜;徐之劼;么铸霖 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;B23K26/064 |
| 代理公司： | 11639 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可调飞秒激光无衍射光束曲面表面结构高效加工方法，属于激光应用技术领域。飞秒激光系统产生具有高斯分布的飞秒激光，经过对高斯光束的能量和尺寸的控制，飞秒激光高斯光束平行入射到空间光调制器上，在空间光调制器上加载设计的相位图，生成飞秒激光无衍射光束。这种光束的无衍射区域长度、轴向强度可调，结合空间光调制器的像素拆分方法可以将单焦点变成多焦点。将待加工的曲面置于无衍射区域。该区域长度足以覆盖整个曲面且轴向强度可控，可以通过在二维平面内移动样品即可对整个曲面处理，实现降维加工，保证效率。所需搭建光路简单，使用方便，加工参数可调节效率高，处理材料范围广，在激光表面结构加工领域中起重要作用。 | ||
| 搜索关键词： | 飞秒激光 可调 衍射光束 空间光调制器 灵活 高斯光束 高效加工 加工效率 曲面表面 衍射区域 多焦点 轴向 飞秒激光系统 激光应用技术 处理材料 二维平面 高斯分布 光调制器 激光表面 加工参数 结构加工 结合空间 移动样品 单焦点 可调节 相位图 光路 加载 降维 可控 入射 像素 加工 平行 激光 覆盖 保证 | ||
【主权项】：
1.一种可调飞秒激光无衍射光束曲面表面结构高效加工方法，其特征在于：具体步骤如下：/n步骤一：利用能量调节装置对飞秒激光高斯光束进行能量控制；/n步骤二：根据曲面加工的需要设计相位分布并生成相位图；在空间光调制器上加载生成的相位图实现对无衍射区域长度、轴向强度的灵活调控；/n传统无衍射光束的相位τ
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