[发明专利]用于硅系材料蚀刻处理的除热装置及除热装置的工作方法在审
| 申请号： | 201910285003.7 | 申请日： | 2019-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111809244A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 宮尾秀一 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 黄灿;蔡丽 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶硅制备技术领域，具体涉及用于硅系材料蚀刻处理的除热装置及除热装置的工作方法。用于硅系材料蚀刻处理的除热装置，包括试剂槽；设置于试剂槽内的第一换热器；以及冷凝器，在所述试剂槽与冷凝器之间设置有中间换热槽；所述第一换热器内流通的介质为水，所述第一换热器的进水口与出水口均与中间换热槽连接，以形成循环回路；所述中间换热槽内设置有第二换热器，且所述中间换热槽内填充有水；所述第二换热器与中间换热槽以外的冷凝器连接。本发明所述除热装置，除热效果好，安全性好，各部件使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 材料 蚀刻 处理 装置 工作 方法 | ||
【主权项】：
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