[发明专利]一种两自由度超精密压电驱动平台及其激励方法有效
| 申请号： | 201910280485.7 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN109951102B | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘英想;于洪鹏;刘军考;邓杰;田鑫琦 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 安琪 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种两自由度超精密压电驱动平台及其激励方法，属于压电驱动领域。解决了现有两自由度超精密驱动平台结构复杂、形式单一和精度不足等问题。所述驱动平台由运动平台、驱动单元以及基座组成，所述驱动单元的运动由层叠式直线型压电驱动器、层叠式弯曲型压电驱动器以及层叠式扭转型压电驱动器产生，所述驱动平台可以通过多种激励方法产生运动平台沿其轴线和绕其轴线的超精密直线和旋转运动。基于不同的激励方法和工作场合，驱动单元的数量可以做出变化。所述驱动平台结构简单、布置灵活，激励方法简单易行、可靠性高，便于应用在需要超精密直线和旋转运动的应用场合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自由度 精密 压电 驱动 平台 及其 激励 方法 | ||
【主权项】：
1.一种两自由度超精密压电驱动平台，其特征在于，所述驱动平台包括运动平台(1)、驱动单元(2)以及基座(3)；所述运动平台(1)上设置有中心套或中心轴，所述上设置有中心轴或中心套，所述运动平台(1)通过中心套或中心轴固定套装于所述基座(3)的中心轴或中心套上，并且只能做绕中心轴或中心套轴线方向的旋转运动以及沿中心轴或中心套轴线方向的直线运动；所述驱动单元(2)包括驱动足(2‑1)、层叠式弯曲型压电驱动器(2‑2)、绝缘块(2‑3)、层叠式扭转型压电驱动器(2‑4)和层叠式直线型压电驱动器(2‑5)；所述驱动足(2‑1)、层叠式弯曲型压电驱动器(2‑2)、绝缘块(2‑3)、层叠式扭转型压电驱动器(2‑4)和层叠式直线型压电驱动器(2‑5)沿所述驱动单元(2)的轴线方向由上至下依次堆叠布置。
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