[发明专利]压电驱动的超精密三自由度平面运动平台及其激励方法有效
| 申请号： | 201910280440.X | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN109889085B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 刘英想;于洪鹏;陈维山;刘军考 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H02N2/00 | 分类号： | H02N2/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 刘景祥 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明是压电驱动的超精密三自由度平面运动平台及其激励方法。本发明解决了多数平面三自由度运动平台结构复杂、精度不足以及激励方法单一的技术问题。所述平台包括运动平台(1)、多个驱动单元(2)以及基座(3)，其中驱动单元(2)为主要驱动元件，通过控制多个驱动单元(2)的运动方向和时序来驱动运动平台(1)的平面内三自由度运动。基于本发明中的激励方法，所述运动平台(1)可以实现大行程的超精密运动。本发明中的运动平台结构简单紧凑，激励方法灵活多样，便于应用在多种需要精密定位和调姿的技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 驱动 精密 自由度 平面 运动 平台 及其 激励 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电驱动的超精密三自由度平面运动平台，其特征是：所述平台包括运动平台(1)、n个驱动单元(2)和基座(3)，n为大于1的整数，所述驱动单元(2)与基座(3)固定连接，所述n个驱动单元(2)在基座(3)平面上呈圆周分布，所述驱动单元(2)包括驱动足(2‑1)、双向层叠式弯曲型压电驱动器(2‑2)、绝缘块(2‑3)和层叠式直线型压电驱动器(2‑4)，所述驱动足(2‑1)、双向层叠式弯曲型压电驱动器(2‑2)、绝缘块(2‑3)和层叠式直线型压电驱动器(2‑4)沿驱动单元(2)的轴线方向依次固定连接，所述运动平台(1)下表面通过外置支撑装置紧压在n个驱动足(2‑1)上，所述基座(3)保持固定，所述运动平台(1)输出平面内三自由度运动。
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