[发明专利]体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统在审
| 申请号： | 201910273066.0 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN111786651A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 罗海龙 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司上海分公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/17;H03H9/46;H03H9/54 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法和滤波器、射频通信系统，形成于压电谐振层外围的且悬空于空腔上方的底电极凹陷部，能够阻挡压电谐振层产生的横波向空腔外围传输，将横波反射回有效工作区中，继而减少和降低了声波损耗，使谐振器的品质因子得到提高，最终能够提高器件性能。进一步地，底电极搭接部和顶电极搭接部与空腔的重叠部分均是悬空的，且底电极搭接部和顶电极搭接部相互错开，可以大大降低寄生参数，并避免漏电、短路等问题，能够提高器件可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 滤波器 射频 通信 系统 | ||
【主权项】：
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