[发明专利]一种超薄工件平面支撑装置及可移式静电吸盘的制备方法

摘要

本发明涉及一种超薄工件平面支撑装置及可移式静电吸盘的制备方法，包括下主机构以及与其配合使用的上主机构，上主机构上方设有气动升降装置，气动升降装置连接有支撑板，下主机构内部设有中央处理器以及与中央处理器连接的气源控制器、高压控制器，气源控制器连接有外部气源且所述气源控制器与气动升降装置相连，下主机构的上部开有凹槽一，凹槽一下方设有若干气体通道，凹槽一内由上至下依次设有石英玻璃、超薄工件、可移式静电吸盘。本发明能够实现对柔软、弯曲、褶皱、透气超薄工件的平面校正及平面固定支撑功能，且能提供稳定吸附、不损伤表面、不残留污渍痕迹。

主权项

1.一种超薄工件平面支撑装置，包括下主机构（11）以及与其配合使用的上主机构（5），其特征在于，所述上主机构（5）上方设有气动升降装置（4），所述气动升降装置（4）连接有支撑板（6），所述支撑板（6）位于上主机构（5）下部开有的凹槽二（501）内，所述下主机构（11）内部设有中央处理器（2）以及与中央处理器（2）连接的气源控制器（1）、高压控制器（3），所述气源控制器（1）连接有外部气源（16）且所述气源控制器（1）与气动升降装置（4）相连，所述下主机构（11）的上部开有凹槽一（1101），所述凹槽一（1101）下方设有若干气体通道（12），所述气体通道（12）与气源控制器（1）相连，所述凹槽一（1101）内由上至下依次设有石英玻璃（7）、超薄工件（8）、可移式静电吸盘（9），所述可移式静电吸盘（9）包括下部的增强基板（15）以及上部的柔性接触面（13），所述柔性接触面（13）由若干电极组（14）构成，所述电极组（14）与高压控制器（3）的高压端子（10）相连。