[发明专利]一种等离子设备的电极装置及等离子设备在审
| 申请号： | 201910261302.7 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN110139458A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 丁雪苗;赵芝强;赵公魄 | 申请（专利权）人： | 珠海宝丰堂电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 陈慧华 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子设备的电极装置及等离子设备，所述等离子设备的电极装置包括从下到上依次设置的下基板、冷却管道和上基板，所述冷却管道的降温能力由中间向四周递增，使电极装置的中间区域的温度高于四周区域的温度，增大中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子设备 电极装置 中间区域 冷却管道 放电 蚀刻 降温能力 四周区域 依次设置 不均匀 上基板 下基板 递增 | ||
【主权项】：
1.一种等离子设备的电极装置，其特征在于：包括从下到上依次设置的下基板(3)、冷却管道(2)和上基板(1)，所述冷却管道(2)的降温能力由中间向四周递增。
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