[发明专利]一种等离子设备的电极装置及等离子设备

说明书

本发明公开了一种等离子设备的电极装置及等离子设备，所述等离子设备的电极装置包括从下到上依次设置的下基板、冷却管道和上基板，所述冷却管道的降温能力由中间向四周递增，使电极装置的中间区域的温度高于四周区域的温度，增大中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

技术领域

本发明涉及等离子设备领域，尤其涉及一种等离子设备的电极装置及等离子设备。

背景技术

等离子设备广泛应用于等离子清洗、蚀刻、镀膜等场合，等离子设备在放电的过程，由于电流都是从电极的表面通过，所以存在电极板正中间放电强度要弱于四周边界区域的情况，在等离子蚀刻电路板的过程中，存在电极中间蚀刻量低于四周的情况。在实际应用中，由于放电强度不均匀比较难直接发现，工作人员即使发现产品蚀刻、清洗不均匀也很难发现其根本原因，因此本领域人员往往忽视这个问题，造成等离子体放电不均匀。

现有的等离子设备的电极采用深钻孔的方式，使用的冷却装置的目的往往是为了降低温度及令电极装置的温度相对均匀，如冷却管道采用了蛇形的结构，冷却水是匀速的流经电极内部，整片电极温度也相对均匀。因此放电过程中，中间区域放电弱于四周，设备蚀刻不均匀。按理论的计算，如果要改变电极中间区域放电弱的现象，可以采取提高电极中间区域的温度的方式，提高中间区域放电的强度，从而提高中间区域的蚀刻量。

发明内容

为了克服上述现有技术的不足，本发明提供了一种等离子设备的电极装置及等离子设备，解决了等离子设备的电极装置中间区域蚀刻量低的问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案为：

一种等离子设备的电极装置，包括从下到上依次设置的下基板、冷却管道和上基板，所述冷却管道的降温能力由中间向四周递增。

作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道包括相互连通的进水管和出水管，所述进水管和出水管交替间隔设置，所述进水管为从外围向中心延伸的矩形螺旋管道，所述出水管为从中心向四周延伸的矩形螺旋管道。

作为上述方案的进一步改进，所述进水管和出水管的交替间隔的距离由中心向外围逐渐减小。

作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道的形状与费马螺线的形状一致。

作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道包括相互对称设置且形状一致的第一蛇形管道和第二蛇形管道，所述第一蛇形管道和第二蛇形管道的分布密度由中间向两端逐渐增加。

作为上述方案的进一步改进，所述冷却管道为SUS304不锈钢冷却管道或SUS316不锈钢冷却管道。

作为上述方案的进一步改进，所述上基板和下基板的相同位置设有若干通孔。

作为上述方案的进一步改进，所述上基板和/或下基板为铝合金板。

本发明还提供了一种等离子设备，包括如上所述的电极装置。

本发明的有益效果有：

本发明提供的一种等离子设备的电极装置，包括呈三明治结构的下基板、冷却管道和上基板，所述冷却管道的降温能力由中间向四周递增，使电极装置的中间区域的温度高于四周区域的温度，增大中间区域的放电强度，改善了电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

本发明还提供了一种等离子设备，包括如上所述的电极装置，能有效改善电极装置中间区域放电弱导致蚀刻不均匀的问题。

附图说明

下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步说明，其中：

图1是本发明较优实施例中的电极装置的爆炸示意图；

图2是本发明较优实施例中的电极装置的结构示意图；