[发明专利]面射型激光装置有效
申请号: | 201910260182.9 | 申请日: | 2019-04-02 |
公开(公告)号: | CN111769438B | 公开(公告)日: | 2021-10-15 |
发明(设计)人: | 许聪基;赖铭智;林弘伟;许文士;郭浩中;叶晏玮;萧越;向宇;张鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州长瑞光电有限公司 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 215026 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种面射型激光装置。面射型激光装置用以产生一激光光束,且包括外延叠层体以及一保护结构。外延叠层体包括一第一反射镜层、一有源层、一第二反射镜层。有源层位于第一反射镜层与第二反射镜层之间,且外延叠层体具有至少一氧化沟槽,其由外延叠层体的一表面延伸至外延叠层体内部。保护结构设置于外延叠层体上,且包括一第一叠层部分。第一叠层部分覆盖氧化沟槽的一内壁面,且第一叠层部分至少包括一应力缓冲层、一氧化铝层以及一覆盖层。氧化铝层夹设在应力缓冲层与覆盖层之间。 | ||
搜索关键词: | 面射型 激光 装置 | ||
【主权项】:
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