[发明专利]一种复合金属氧化物靶材材料及其加工方法在审
| 申请号： | 201910254451.0 | 申请日： | 2019-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN109881172A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 黎品英;谢元鸣;梁莉丝 | 申请（专利权）人： | 柳州呈奥科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C29/12;C22C1/05;C22C1/10 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 李勤辉 |
| 地址： | 545616 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种复合金属氧化物靶材材料及其加工方法，该复合金属氧化物靶材材料的加工方法包括以下步骤：将材料按比例加入到螺旋搅拌机中,在搅拌时分别两次加入配备好的增粘剂与增韧剂，搅拌一段时间，使该混合材料温度升到120℃，制得混合物料A；对复合金属氧化物层进行抛光，将处理后的第二靶材放置在磁控溅射的样品台上，在靶材底部通入氩气，对其进行退火处理，最终制得复合金属氧化物靶材；本发明所述的一种复合金属氧化物靶材材料及其加工方法，保证不同铝靶材之间晶粒大小的均一性，提高材料的机械性能、消除残余应力和改善金属的切削加工性，同时制得的复合金属氧化物靶材材料具有很强的韧性，具有更好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 复合金属氧化物 靶材材料 靶材 加工 机械性能 螺旋搅拌机 切削加工性 晶粒 氩气 残余应力 磁控溅射 混合材料 混合物料 退火处理 均一性 铝靶材 增韧剂 增粘剂 抛光 金属 配备 应用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种复合金属氧化物靶材材料，该复合金属氧化物靶材材料由以下质量份数计的各组分组成，导电银粉6‑10份、增粘剂4‑8份、增韧剂5‑7份、丁二烯树脂5‑15份、聚氯乙烯2‑7份、纳米石墨2‑3份、氧化锌50‑65份、氧化镁5‑7.5份、铜3‑6份、氧化铝1.8‑2.5份、铟1‑2份、钕0.1‑0.8份。
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