[发明专利]音叉型原子力显微镜探头和应用在审
| 申请号： | 201910252126.0 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111751577A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 宋志军;杨楚宏;姬忠庆;吕力 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京市英智伟诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11521 | 代理人： | 刘丹妮 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种音叉型原子力显微镜探头，所述探头包括石英音叉、电流放大器及补偿电路。还提供了该探头的应用。既可以实现对分布电容的补偿又可以在10mK温度对通过石英音叉的电流信号进行放大，从而可以降低驱动电压的幅度，以期望提高测量的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 音叉 原子 显微镜 探头 应用 | ||
【主权项】：
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