[发明专利]一种模块化的真空紫外激光装置

摘要

本发明公开了一种模块化的真空紫外激光装置，涉及真空紫外激光领域，包括激光器、倍频单元、第一反射单元、准直单元、第二反射单元、聚焦单元、超真空波纹管、外部调节操作机构；所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均设置为独立的模块化单元，所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均固定设置在独立的所述外部调节操作机构上，所述超真空波纹管将所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元依次连接，形成光的传输通道。本发明的真空紫外激光装置，具有设计简洁、可扩展性强、操作方便、成本低的优点。

主权项

1.一种模块化的真空紫外激光装置，其特征在于，包括激光器、倍频单元、第一反射单元、准直单元、第二反射单元、聚焦单元、超真空波纹管、外部调节操作机构；所述激光器作为基频激光源；所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均设置为独立的模块化单元，所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均固定设置在独立的所述外部调节操作机构上，所述倍频单元包括倍频单元内腔体、倍频单元光学元器件，所述倍频单元光学元器件固定设置在所述倍频单元内腔体内；所述第一反射单元包括第一反射单元内腔体、第一反射单元光学元器件，所述第一反射单元光学元器件固定设置在第一反射单元内腔体内；所述准直单元包括准直单元内腔体、准直单元光学元器件，所述准直单元光学元器件固定设置在所述准直单元内腔体内；所述第二反射单元包括第二反射单元内腔体、第二反射单元光学元器件，所述第二反射单元光学元器件固定设置在所述第二反射单元内腔体内；所述聚焦单元包括聚焦单元内腔体、聚焦单元光学元器件，所述聚焦单元光学元器件固定设置在所述聚焦单元内腔体内；所述外部调节操作机构用于控制所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元的姿态，所述超真空波纹管将所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元依次连接，形成光的传输通道；所述激光器发出的基频激光，由所述倍频单元转化为真空紫外激光，再按照所述传输通道进行传输，最终从所述聚焦单元射出。