[发明专利]一种模块化的真空紫外激光装置

权利要求书

1.一种模块化的真空紫外激光装置，其特征在于，包括激光器、倍频单元、第一反射单元、准直单元、第二反射单元、聚焦单元、超真空波纹管、外部调节操作机构；所述激光器作为基频激光源；所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均设置为独立的模块化单元，所述模块化单元设置有不同方向的独立的连接口，所述连接口被配置为能够用于抽气、充气、观察或连接；

所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元均固定设置在独立的所述外部调节操作机构上，所述倍频单元包括倍频单元内腔体、倍频单元光学元器件，所述倍频单元光学元器件固定设置在所述倍频单元内腔体内；所述第一反射单元包括第一反射单元内腔体、第一反射单元光学元器件，所述第一反射单元光学元器件固定设置在第一反射单元内腔体内；所述准直单元包括准直单元内腔体、准直单元光学元器件，所述准直单元光学元器件固定设置在所述准直单元内腔体内；所述第二反射单元包括第二反射单元内腔体、第二反射单元光学元器件，所述第二反射单元光学元器件固定设置在所述第二反射单元内腔体内；所述聚焦单元包括聚焦单元内腔体、聚焦单元光学元器件，所述聚焦单元光学元器件固定设置在所述聚焦单元内腔体内；所述外部调节操作机构用于控制所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元的姿态，所述超真空波纹管将所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元依次连接，形成光的传输通道；所述激光器发出的基频激光，由所述倍频单元转化为真空紫外激光，再按照所述传输通道进行传输，最终从所述聚焦单元射出。

2.如权利要求1所述的模块化的真空紫外激光装置，其特征在于，所述倍频单元光学元器件为具有深紫外倍频能力的非线性光学晶体；第一反射单元光学元器件和第二反射单元光学元器件为激光反射镜；所述准直单元光学元器件为准直透镜；所述聚焦单元光学元器件为聚焦透镜。

3.如权利要求2所述的模块化的真空紫外激光装置，其特征在于，所述倍频单元、所述第一反射单元、所述准直单元、所述第二反射单元、所述聚焦单元与所述超真空波纹管通过CF法兰或者KF法兰连接。

4.如权利要求3所述的模块化的真空紫外激光装置，其特征在于，所述模块化的真空紫外激光装置还包括偏振单元，所述偏振单元设置为独立的模块化单元，所述偏振单元包括偏振单元内腔体、偏振单元光学元器件，所述偏振单元光学元器件固定设置在所述偏振单元内腔体内；所述偏振单元设置在所述第二反射单元和所述聚焦单元之间，所述偏振单元设置与所述第二反射单元和所述聚焦单元之间通过所述超真空波纹管连接；所述偏振单元固定设置在独立的所述外部调节操作机构上。

5.如权利要求4所述的模块化的真空紫外激光装置，其特征在于，所述偏振单元光学元器件为偏振片或波片的一种或几种的组合，所述偏振单元光学元器件的偏振方式为水平偏振、竖直偏振、左旋偏振或右旋偏振中的一种或几种的组合。

6.如权利要求5所述的模块化的真空紫外激光装置，其特征在于，所述外部调节操作机构包括二维平移台、水平旋转台、倾角台；所述二维平移台的上、下表面为水平面；所述水平旋转台包括旋转固定部、旋转部，所述旋转固定部固定安装于所述二维平移台的上表面，所述旋转部设置于所述旋转固定部上部，所述旋转部和所述旋转固定部构成转动副；所述倾角台包括倾角基座、倾角座，所述倾角基座固定安装于所述旋转部上表面，所述倾角座设置在所述倾角基座上部，所述倾角座和所述倾角基座构成弧形滑动副；所述模块化单元固定安装于所述倾角座上部。

7.如权利要求6所述的模块化的真空紫外激光装置，其特征在于，所述旋转部和所述旋转固定部的转动的驱动方式为手动或马达驱动；所述倾角座和所述倾角基座的滑动倾动的驱动方式为手动或马达驱动。

8.如权利要求7所述的模块化的真空紫外激光装置，其特征在于，所述传输通道内填充高纯度氮气或惰性气体。

9.如权利要求6～8中任一项所述的模块化的真空紫外激光装置产生的真空紫外激光应用于飞秒激光或皮秒激光领域。