[发明专利]一种用于三维面型测量的线形光谱共焦系统有效
申请号: | 201910244320.4 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN109945800B | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 郑臻荣;孙妍;陶骁;王畅;杨琳;王旭成 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 郑海峰 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开一种用于三维面型测量的线形光谱共焦系统,包括:宽光谱光源,用于提供有一定波长范围的光辐射;透射光栅,用于将光辐射源发射的光辐射分成分离的波长;柱面镜组,用于使不同波长的光辐射聚焦在被测物体表面法向的不同高度上,且在垂直于子午面方向上,不改变辐射光的传播方向;光辐射处理单元,在镜面反射方向上接受从被测量物体表面反射的光辐射,并引导至所述检测器;探测器,用于接收从所测量的物体反射的辐射。本发明使用光栅实现色散,可以更大程度地实现光谱分离,在面形测量时可以测量更大的深度范围;并且使用柱面镜组,实现线形探测,在得到平面平整度信息时可以只用进行一个维度的扫描。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 三维 测量 线形 光谱 系统 | ||
【主权项】:
1.一种用于三维面型测量的线形光谱共焦的测量装置,其特征在于,包括:宽光谱光源,用于提供有一定波长范围的光辐射;透射光栅,用于调整所述光辐射,以将所述光辐射分成分离的波长,柱面镜组,用于调整经过所述透射光栅后的光辐射,使所述分离波长的光辐射从不同的方向上引导至所测量的物体表面,从而使不同波长的光辐射聚焦在被测物体表面法向上的不同高度处;并且在垂直于子午面方向上,不改变辐射光的传播方向;光辐射处理单元,在镜面反射方向上接收从所测量的物体表面反射的光辐射,且仅有聚焦在被测物体表面测量点的光辐射才能够与聚焦前的光路对称地进入所述光辐射处理单元;光辐射处理单元并将接收的光辐射引导至探测器,探测器,用于接收从所测量的物体反射的辐射。
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