[发明专利]二自由度scott-russell柔性微纳定位平台

摘要

本发明公开了一种二自由度scott‑russell柔性微纳定位平台，本发明采用固有频率较高的压电陶瓷作为驱动元件，同时为了在实现较大的输出位移时保持良好的解耦性能，采用放大比大、解耦性好的桥式放大机构作为一级位移放大机构。本发明引入scott‑russell机构作为二级位移放大机构，采用scott‑russell机构作为位移放大机构，具有运动解耦性能优越、导向性能好的特点；本发明引入十字形解耦结构均布于中心运动平台四周，该十字形解耦结构在目标运动方向上刚度较小，在非目标运动方向上刚度较大，这样既有利于输出位移，实现较大的位移输出，又具有良好的解耦性能，确保较高的定位精度。

主权项

1.二自由度scott‑russell柔性微纳定位平台，其特征在于：包括基座(2)、两个scott‑russell结构(3)、两个桥式放大机构(4)、运动平台(6)、四个十字形解耦结构；所述的两个桥式放大机构(4)的固定端固定在基座上，其中第一桥式放大机构(4)的输出端通过第一柔性铰链(303)接入第一scott‑russell结构的输入端；第一scott‑russell结构的固定端通过第二柔性铰链(302)连接入基座，输出端通过两个柔性板簧结构连接入中心运动平台的一个侧面；所述的两个柔性板簧与中心运动平台的侧面垂直；所述中心运动平台为正方形形状，并通过四个十字解耦结构连接入基座，所述十字解耦结构均布于中心运动平台的四周；所述的第一桥式放大机构(4)内设有第一压电驱动器(12)；第二桥式放大机构的的输出端通过第三柔性铰链连接入第二scott‑russell结构的输入端；第二scott‑russell结构的固定端通过第四柔性铰链连接入基座，输出端通过两个柔性板簧结构连接入中心运动平台的另一个侧面；其中中心运动平台的一个侧面与另一个侧面相邻。