[发明专利]传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 201910242626.6 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN110333370B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 山口启一;西泽龙太 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5649;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘畅;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。该传感器元件具有：基部；驱动臂，其经由从所述基部起在第1轴上延伸的连结臂而连接；第1检测臂和第2检测臂，在所述平面观察时，该第1检测臂从所述基部起朝与所述第1轴垂直的第2轴的正方向延伸，该第2检测臂朝所述第2轴的负方向延伸；驱动信号布线，在所述平面观察时，所述驱动信号布线在所述基部沿着所述第1轴配置；以及第1检测信号布线和第2检测信号布线，在所述平面观察时，它们配置于所述基部，所述第1检测信号布线和所述第2检测信号布线的形状与在所述平面观察时关于所述第1轴线对称的形状不同。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 元件 物理量 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
1.一种传感器元件，其特征在于，所述传感器元件具有：基部；驱动臂，在从所述基部的厚度方向进行平面观察时，所述驱动臂经由从所述基部起在第1轴上延伸的连结臂而连接；第1检测臂和第2检测臂，在所述平面观察时，所述第1检测臂从所述基部起朝与所述第1轴垂直的第2轴的正方向延伸，所述第2检测臂朝所述第2轴的负方向延伸；驱动信号布线，在所述平面观察时，所述驱动信号布线在所述基部沿着所述第1轴配置，传输使所述驱动臂振动的驱动信号；第1检测信号布线，在所述平面观察时，所述第1检测信号布线配置于所述基部，传输伴随所述第1检测臂的振动而输出的检测信号；以及第2检测信号布线，在所述平面观察时，所述第2检测信号布线配置于所述基部，传输伴随所述第2检测臂的振动而输出的检测信号，在所述平面观察时，所述第1检测信号布线和所述第2检测信号布线的形状与关于所述第1轴线对称的形状不同。
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