[发明专利]一种检测物体的表面清洁度的方法及装置在审
| 申请号： | 201910239859.0 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN110044913A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 郝汝栋;唐仁兴 | 申请（专利权）人： | 易安基自动化设备(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G01N21/64;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人： | 刘云贵;金卫文 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种检测物体的表面清洁度的方法及装置，该检测物体的表面清洁度的方法包括以下步骤：步骤1、利用第一预设波长范围内的激光照射待测表面，以激发所述待测表面上的污染物发出荧光；步骤2、获得所述荧光的光子计数值i，并将所述光子计数值i作为或转化为衡量所以待测表面的清洁度的指定标量。本发明的检测物体的表面清洁度的方法能够较快且较准确地获知待测表面的清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 表面清洁度 清洁度 种检测 光子 荧光 激光照射 波长 检测 标量 获知 预设 污染物 衡量 激发 转化 | ||
【主权项】：
1.一种检测物体的表面清洁度的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、利用第一预设波长范围内的激光照射待测表面，以激发所述待测表面上的污染物发出荧光；步骤2、获得所述荧光的光子计数值i，并将所述光子计数值i作为或转化为衡量所以待测表面的清洁度的指定标量。
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