[发明专利]电子束检测系统在审
| 申请号： | 201910239420.8 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN110275198A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张力戈;黄江;樊明武;余调琴;李海军;丁宙;左晨;杨军;熊永前;齐伟;赵龙;曹磊;胡桐宁 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种电子束检测系统。所述电子束检测装置，包括：电电子收集支架，电子收集装置，活动安装在所述电子收集支架上，用于在驱动力作用下沿所述电子收集支架运动；第一驱动装置，与所述电子收集装置连接，用于向所述电子收集装置提供运动所需的所述驱动力。 | ||
| 搜索关键词： | 电子收集装置 电子收集 电子束检测系统 支架 电子束检测装置 第一驱动装置 驱动力作用 活动安装 支架运动 驱动力 下沿 | ||
【主权项】：
1.一种电子束检测系统，其特征在于，包括：电子收集支架，电子收集装置，活动安装在所述电子收集支架上，用于在驱动力作用下沿所述电子收集支架运动；第一驱动装置，与所述电子收集装置连接，用于向所述电子收集装置提供运动所需的所述驱动力。
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