[发明专利]一种微观零件批量精密加工仪器

摘要

本发明公开了一种微观零件批量精密加工仪器，所述仪器包括：本体，所述本体具有一内部容置空间；原料及靶材装配模块，所述原料及靶材装配模块设置在所述本体外侧的一端，与所述内部容置空间连通；表面处理模块、选择性电铸模块、飞刀切削模块、填充电铸模块、平坦化模块及剥离释放模块依次设置在所述容置空间内的底部，其中，所述表面处理模块靠近所述原料及靶材装配模块的一端，所述剥离释放模块位于所述容置空间的另一端。实现了任意精密三维结构的一次性直接制造，减少对准、装配等后续步骤，避免了精密微小零件装配带来的对准容差及成平率低，大幅提升了零件制造精度、可靠性，进而降低加工成本的技术效果。

主权项

1.一种微观零件批量精密加工仪器，其特征在于，所述仪器包括：本体，所述本体具有一内部容置空间；原料及靶材装配模块，所述原料及靶材装配模块设置在所述本体外侧的一端，与所述内部容置空间连通；表面处理模块，所述表面处理模块设置在所述容置空间内的底部靠近所述原料及靶材装配模块的一端；选择性电铸模块，所述选择性电铸模块设置在所述容置空间内的底部且位于所述表面处理模块之后；飞刀切削模块，所述飞刀切削模块设置在所述容置空间内的底部且位于所述选择性电铸模块之后；填充电铸模块，所述填充电铸模块设置在所述容置空间内的底部且位于所述飞刀切削模块之后；平坦化模块，所述平坦化模块设置在所述容置空间内的底部且位于所述填充电铸模块之后；剥离释放模块，所述剥离释放模块设置在所述容置空间内的底部且位于所述平坦化模块之后，位于所述容置空间的另一端。