[发明专利]辐射检测装置及其制造方法、辐射检测系统有效
申请号: | 201910219458.9 | 申请日: | 2014-10-30 |
公开(公告)号: | CN110045410B | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 小野伸二;石井孝昌;西部航太 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G01T1/20 | 分类号: | G01T1/20;H01L27/146 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 罗闻 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种辐射检测装置,其减少在粘合部件和多个传感器基底的末端部分之间的缺陷粘合。辐射检测装置包括:邻近于彼此布置的多个传感器基底,每个传感器基底包括将第一表面和面对第一表面的第二表面连接到彼此的侧表面,所述第一表面上以阵列设置有多个光电转换元件;布置在所述多个传感器基底的第一表面侧上的闪烁体;和用于将所述多个传感器基底和闪烁体粘合到彼此的片状粘合部件。在所述多个传感器基底之间,片状粘合部件粘合到第一表面的至少一部分和侧表面的至少一部分,以使得片状粘合部件从第一表面连续粘合到侧表面的所述至少一部分。 | ||
搜索关键词: | 辐射 检测 装置 及其 制造 方法 系统 | ||
【主权项】:
1.一种用于制造辐射检测装置的方法,包括:固定步骤,使用片状固定部件将彼此相邻的多个传感器基底固定到基部,每个传感器包括以阵列设置有多个光电转换元件的第一表面、与第一表面相对的第二表面、以及将第一表面和第二表面彼此连接的侧表面,其中所述片状固定部件在所述多个传感器基底的第二表面与所述基部之间从第一传感器基底的第二表面连续布置到与第一传感器基底不同的第二传感器基底的第二表面,所述第一传感器基底和第二传感器基底包含在所述多个传感器基底中;布置步骤,在通过所述固定步骤固定到所述基部上的所述多个传感器基底的第一表面侧处布置闪烁体,其中片状粘合部件介于第一表面侧和闪烁体之间,其中,片状固定部件的刚性小于片状粘合部件的刚性;以及粘合步骤,其中通过从相反于所述多个传感器基底的一侧挤压通过所述布置步骤布置的闪烁体的与在所述多个传感器基底之间的区域对应的区域,使得片状粘合部件从第一表面延伸且连续粘合到在所述多个传感器基底之间的侧表面的至少一部分。
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